電子廠車間的凈化原理主要包括空氣過濾和物理分隔。
首先，精密的層流罩送風(fēng)方式采用了微正壓形式（即壓力為正值），而且安裝精度要求極高。這種方式的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)組合上較為靈活、可拆卸并易于移動布置；而缺點則主要表現(xiàn)在對制作材料的要求較高上面。其內(nèi)部的初效板材厚度一般在1.5~3mm之間選取,采用中密度≥0.86g/cm3(絕干)的阻燃型玻璃纖維料模塑固化而成片狀無紡布作為背襯材料的支撐元件之一。整個系統(tǒng)都需進行嚴(yán)格的密封性能試驗且必須保證在常溫下不漏氣才可通過驗收標(biāo)準(zhǔn)！
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